无尘室内着火需要使用特定的灭火器进行扑灭，常见的适用于无尘室的灭火器包括涂氟灭火器和二氧化碳灭火器。

涂氟灭火器具有速度快、恢复时间短等特点，适用于电子元器件等高负荷设备中发生的小型火灾。

而二氧化碳灭火器的灭火效果好，且不会对设备造成损害，适用于无尘室内电器、仪器等高价值设备的灭火。在选择具体的灭火器时，还需要考虑火灾的规模、物料种类等因素。