中芯14nm良率是90%-95%。

中芯国际联席CEO梁孟松博士在投资者调研会议上透露，"14nm工艺在2019年第四季度进入量产后至今，良率已达业界量产水准"。与此中芯国际各制程产能满载，部分成熟工艺订单已排至2022年。