华芯光刻机是中微半导体设备有限公司的产品。

根据市场调查和专业资料显示，华芯光刻机是中微半导体设备有限公司研制推出的一款高端光刻机产品，可用于半导体和集成电路等领域的生产制造。

中微半导体设备有限公司成立于1997年，是中国半导体设备制造领域的领军企业之一，公司的产品线覆盖了光刻机、湿法设备、等离子刻蚀等多个领域，是国内拥有独立知识产权的半导体设备制造商之一。

除华芯光刻机外，公司还有其他知名产品，如PCDD射频源、PLASMA200微米级等离子刻蚀机等。