碳晶板的检测指标主要包括**物理尺寸、化学成分和物理性能**等方面。

以下是一些详细的检测标准和方法：

1. **物理尺寸**：

- 厚度：碳晶板的厚度是一个重要的质量判断标准，一般来说，厚度在3厘米以上为佳。

- 重量：重量也能反映碳晶板的密度和品质，通常越重的碳晶板密度越高，品质越好。

- 颜色：质量好的碳晶板颜色均匀，无明显色差。

2. **化学成分**：

- GB/T 3045标准：对碳化硅的表面杂质、二氧化硅、游离硅、游离碳、酸处理失量等成分进行测定。

3. **物理性能**：

- 硬度、密度、热膨胀系数、导热系数、电阻率等参数的测试。

4. **国家标准**：

- GB/T 4335-2013：低碳钢冷轧薄板铁素体晶粒度测定法。

- JB/T 10698-2007：碳化硅特种制品重结晶碳化硅板。

- GB/T 30656-2014：碳化硅单晶抛光片。

- GB/T 31351-2014：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测。

- GB/T 30867-2014：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试。

- GB/T 30866-2014：碳化硅单晶片直径测试。